Products
Liquid argon
Project |
Index |
Argon (Ar) content (volume fraction)/10-2 ≥ |
99.99 |
Hydrogen (H2) content (volume fraction)/10-6 ≤ |
5 |
Oxygen (O2) purity (volume fraction)/10-6 ≤ |
10 |
Nitrogen (N2) content (volume fraction)/10-6 ≤ |
50 |
Methane (CH4) content (volume fraction)/10-6 ≤ |
5 |
Carbon monoxide (CO) content (volume fraction)/10-6 ≤ |
5 |
Carbon dioxide (CO2) content (volume fraction)/10-6 ≤ |
10 |
Moisture (H20) content (volume fraction)/10-6 ≤ |
15 |
高纯氩技术要求
项目 |
指标 |
氩气(Ar)含量(体积分数)/10-2 ≥ |
99.999 |
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 ≤ |
0.5 |
氧(O2)纯度(体积分数)/10-6 ≤ |
1.5 |
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 ≤ |
4 |
甲烷(CH4)含量(体积分数)/10-6 ≤ |
1 |
水分(H20)含量(体积分数)/10-6 ≤ |
3 |
注:甲烷(CH4)含量、一氧化碳(CO)含量、二氧化碳(CO2)含量可单独测量 |
超纯氩技术要求
项目 |
指标 |
|
氩气(Ar)含量(体积分数)/10-2 ≥ |
99.9999 |
99.9992 |
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 < |
0.1 |
1 |
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < |
0.5 |
5 |
氧(O2)纯度(体积分数)/10-6 < |
0.2 |
0.5 |
一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO2)总含量(体积分数)/10-6 < |
一氧化碳:0.1 |
0.5 |
二氧化碳:0.1 |
||
总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/10-6 < |
0.1 |
0.5 |
水分(H20)含量(体积分数)/10-6 < |
0.2 |
0.5 |
杂质总含量(体积分数)/10-6 ≤ |
1 |
8 |
颗粒 |
供需双方商定 |
供需双方商定 |